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ScAlMgO4結晶基板

説明ScAlMgO4(MgScAlO4、SCAM)結晶は、理想的な基板材料で最近開発されたGaNおよびZnOヘテロエピタキシーの一種であり、現在、新しい基板材料で最もよくGaNおよびZnOに適合する.ScAlMgO4結晶は、格子定数a = 0.3246 nm、c = 2.5195 ...

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制品の詳細

説明

ScAlMgO4(MgScAlO4、SCAM)結晶は、理想的な基板材料で最近開発されたGaNおよびZnOヘテロエピタキシャルの一種であり、新しい基板材料で最もよくGaNおよびZnOと一致する.ScAlMgO4結晶は、格子定数a = 0.3246nm 、c = 2.5195nm、菱面体晶窒化物および酸化亜鉛の構造と同様の菱面体構造を有する.ScAlMgO4結晶は、GaNおよびZnOとの最小格子不整合であるGaNおよびZnOエピタキシャルの理想的な基板材料の一種である。

特徴

GaNとZnOとの最良の格子整合

研磨後の高透過率

高いスロープ効率

アプリケーション


ScAlMg 2 O 4基板


主な仕様

材料

ScMgAlO4

オリエンテーション

[0001]または[10-10] <>

平行

10 "

垂直

5 '

表面品質

10/5

波面歪み

λ/ 4,632nm

表面の平坦度

λ/ 8,632nm

絞りをクリアする

> 95%

面取り

<>

厚さ/直径公差

±0.05 mm

最大寸法

直径50×100mm

コーティング

AR / AR @ 940 + 1030; HR @ 1030 + HT @ 940 + AR1030;

材料特性

物理的および化学的特性

プロパティ

ScMgAlO4

結晶構造

六方晶系

格子定数

a = 0.3246nm c = 2.5195nm

密度

3.64g / cm 3

モース硬度

4-5モース

熱膨張係数

A = 7.45×10 -6 /℃

標準製品

オリエンテーション

終わりの構成、nm

厚さ、nm

[1 0 0]

5×5

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]

[1 0 0]

8×8

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]

[1 0 0]

10×10

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]

[1 0 0]

15×15

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]

[1 0 0]

直径25.4

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]

[1 0 0]

直径50.8

0.5

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 1]


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