MgAl 2 O 4結晶基板

概要透明セラミックスピネル(透明アルミン酸マグネシウムスピネル、MgAl 2 O 4透明スピネル、MA多結晶スピネル)は、窓やレンズを含む広範囲の光学、電子、構造用途に魅力的な材料です。

Product Details

説明

バルク音響波マイクロ波デバイスおよび高速ICエピタキシャル基板には、アルミン酸マグネシウム(MgAl 2 O 4またはスピネル)単結晶が広く使用されている。 MgAl 2 O 4は、可視光から中間IRまでの優れた透過性を必要とする窓およびレンズを含む広範囲の光学、電子および構造用途への魅力的な材料である。 理論的伝達は非常に均一で、0.3〜5ミクロンの間で87%に近づく。 透過特性は中波IRでALONとサファイアに匹敵し、現在および次世代の赤外線イメージングシステムの性能要求がますます高まる中で特に魅力的です。

MgAl 2 O 4は、III-V窒化物デバイスのための良好な基板であることも分かっている。 スピネル(MgAl 2 O 4)は、このようなGaN LD基板の候補の1つである。 MgAl2O4の結晶構造はスピネル型(Fd3m)であり、その格子定数は8.083Aである.MgAl2O4は比較的低コストの基板材料であり、高品質のGaN膜の成長に成功している。 MgAl 2 O 4は(100)面で劈開される。 GaN LDキャビティは、(100)方向に沿ってMgAl 2 O 4基板を単に切断することによって得られ、ZnOに対しても良好に機能する。 MgAl 2 O 4結晶は、単相構造を維持することが困難であるため、成長が非常に困難である。

特徴

良好な光学的、化学的および熱的性質

良好な高温特性

安定した物理的性能

アプリケーション

MgAl 2 O 4基板

主な仕様

材料

MgAl 2 O 4

オリエンテーション

[100]または[100]または[111] <>

平行

10 "

垂直

5 '

表面品質

10/5

波面歪み

λ/ 4,632nm

表面の平坦度

λ/ 8,632nm

絞りをクリアする

> 95%

面取り

<>

厚さ/直径公差

±0.05 mm

最大寸法

直径50×100mm

コーティング

AR / AR @ 940 + 1030; HR @ 1030 + HT @ 940 + AR1030;

材料特性

物理的および化学的特性

化学式

MgAl 2 O 4

結晶構造

立方体:m3m

格子パラメータ、Å

a =8.083Å

融点(℃)

2130℃

密度、g / cm 3

3.61g / cm 3

伝送距離

0.21〜5.3μm

屈折率

1.8245±0.8μm、

モース硬度

8

25℃での熱伝導率、W x cm -1 x°K -1

14.0W /(m・K)

熱膨張係数

7.45×10 -6 / K

位相速度

(100)せん断波で6500m / s

伝播損失

6.5dB / ms

比熱

0.59Ws / g / K


標準製品

オリエンテーション

終わりの構成、nm

厚さ、nm

屈折率

[1 0 0]

5×5

0.5

1.8245±0.8μm

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

10×10

0.5

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

15×15

0.5

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

20×20

0.5

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

直径25.4

0.5

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

直径50.8

0.5

[1 1 0]

[1 1 1]

[1 0 0]

1

[1 1 0]

[1 1 1]


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